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气浮运动台主要有哪些优点

来源:北京瑞邦精控科技有限公司   2021年06月07日 15:57   1385
  随着半导体进入到快速发展的阶段,相应的加工检测设备也会逐渐的提高性能,所以有许多的公司都会用到气浮运动台,这是一款高精度的设备,主要作用于半导体加工、检测,微纳加工,测试测量等,但是它到底有哪些主要的优势。
 
  1.   直线度和平面度高
 
  2.   定位精度和重复定位高
 
  3.   速度稳定性高
 
  4.   偏摆、俯仰、滚动精度高
 
  气浮运动台的高直线度和平面度依赖于气浮导轨,材质分为铝合金、大理石及碳化硅陶瓷等,研究其高压气膜的压力分布、气源压力、节流器、均压槽深度等,找到了气膜刚度的参数区间有着出色的性能精度,实现速度2米/秒,能够拥有4G的加速度,而且承载的能力也非常的出色,所以在目前的市场上已经逐渐得到大家的认可,只是当我们在选择设备时,或许也会存在很多的疑惑,比如说要选择哪种材质的气浮导轨。
 
  其实材质的选择是跟用户的应用有着紧密的联系,单从性价比角度了解,碳化硅陶瓷材质的气浮运动台精度高,当然成本也昂贵,铝合金与大理石材质的同样性能比较,铝合金的加工难度大些,成本较高,大理石的成本较便宜些。
 
  利用*的直线电机驱动,选择无铁芯设计,特点是无齿槽效应,高动态性能及电流噪音小等,所以在运动的过程中能够实现超平稳的效果,另外配置光栅尺闭环反馈及*性的控制系统,获得高定位精度和重复定位精度,控制器对光栅尺65536倍细分,获得纳米级微动步距。
 
  所以从各个方向的优势来看,气浮运动台已经成为当前从事高精密应用行业的选择,能够提高整个系统的精度性能。
 
  在国家大力发展精密制造,鼓励发展自主品牌的大背景下,由多年从事精密运动平台研发和生产的技术人员共同组建成立,团队具有多年核心部件研发经验,拥有多种应用领域经验,成熟的产品应用案例。
 
  产品拥有:精密气浮直线台、精密气浮转台、多轴精密气浮台、精密直驱直线台、多轴精密直驱直线台、精密垂直升降台、笛卡尔龙门系统及定制产品。
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