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HMDS Coater（HMDS 涂布机）使用范围

来源：上海隽思实验仪器有限公司 2025年08月25日 08:07 18

HMDS Coater（HMDS 涂布机）用途：

HMDS Coater是通过对箱体内预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS，降低了HMDS处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。

HMDS Coater（HMDS 涂布机）技术指标：

1、设备名称	HMDS Coater（HMDS 涂布机）
2、设备型号	JS-HMDS90-AI/MES
3、设备主要技术参数
3.1 尺寸（*深宽高*）	内腔尺寸：350×350×350/450×450×450（mm）可定制
3.2 材质	外箱采用优质冷轧板喷塑，内箱采用316L级不锈钢
3.3 温度使用范围	80-200℃
3.4 温度分辨率	0.1℃
3.5 温度波动度	≤±0.5
3.6 真空度	≤133pa（1torr）
3.7 洁净度	设备采用无尘材料，适用100级光刻间净化环境
3.8电源及总功率	AC 220V±10% / 50HZ 总功率约3.5KW
3.9 控制仪表	人机界面
3.10搁板层数	2层
3.11 HMDS控制	可控制HMDS药液添加量
3.12真空泵	无油涡旋真空泵
3.13 保护装置	HMDS药液泄漏报警装置，HMDS低液位报警提示，超温保护，漏电保护等。

关键词：人机界面真空泵

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