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智能型HMDS系统真空泵，HMDS涂胶机干泵

来源：上海隽思实验仪器有限公司 2025年08月25日 08:42 15

智能型HMDS系统真空泵，HMDS涂胶机干泵说明

IDP-10 涡旋式干泵是一款紧凑、高性能的无油真空泵，易于维护。在世 界各地不同的频率和输入电压下，变频驱动电机均可提供均一的真空性能。

密封设计（电机和所有轴承与真空环路隔开）延长了轴承的使用寿命， 还可提供洁净、无油的真空条件。可选的集成入口保护阀内置于泵模块中， 可根据需要使用，不会额外增加泵的高度。

智能型HMDS系统真空泵，HMDS涂胶机干泵技术性能

抽速 全速条件下 170 L/min (10.2 m3/h)

介质	气体
极限压力	2.0 × 10-2 mbar (1.5 × 10-2 Torr)
入口压力	1.0 个大气压 (0 psig)
推荐的连续入口压力	2.0 × 10-2 mbar (1.5 × 10-2 Torr)
标称电压下出口压力	1.34 个大气压 (5 psig)
入口连接	NW25
排气口连接	NW16
气镇	0.25 英寸美国标准管内螺纹（提供 20 µm烧结插头）
气镇	SAE-2 5/16-24
根据 Pneurop 6602 处理水蒸气	120 g/h
运行环境温度	5-40 °C （41-104 °F）
储存温度	–20-60 °C (–4-140 °F)
马达额定功率	0.5 HP (350 W)； 3ø 变频驱动
工作电压	100-127； 200-240 VAC， 50/60 Hz
马达热保护	自动热保护
工作速度	63.33 Hz： 1900 rpm； 45 Hz： 1350 rpm
冷却系统	风冷
重量	仅泵： 24.74 kg （54.5 磅），运输重量： 28.1 kg （62 磅）
尺寸（高 × 宽 × 长 (mm)）	297 × 260 × 420
泄漏速度（密封排气口时）	< 1 × 10-6 sccs (1 × 10-6 mbar.l/s)
噪音水平	53 +/- 2 dB (A)
入口处振动水平	7 mms-1 rms
计时器	提供一体式计时器
辐射与抗扰性	EN 61236-1:2013，属 A 类设备
安全性	通过 EN/IEC 61010 第 3 版认证

HMDS预处理系统通过对烘箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS，降低了HMDS处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。适用于硅片、砷化镓、陶瓷、不锈钢、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料预处理及相关行业。

关键词：真空泵

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