亚新ty官网_亚新（中国）

您所在的位置：亚新ty官网>技术亚新（中国）>亚新ty官网

欢迎联系我

有什么可以帮您？在线咨询

选择HMDS烘箱注意事项

来源：上海隽思实验仪器有限公司 2025年08月25日 09:14 12

选择HMDS烘箱的容积
内腔尺寸：450*450*450mm，1-8寸片均适用，4寸晶圆可处理200P/次；
HMDS烘箱真空泵的选择
根据腔体容积，选配合适型号的真空泵。常用涡旋式真空泵又分为油泵和干泵。

◆ 全无油泵，不会污染真空系统

◆ 采用独立马达与轴承的密封设计

◆ 体积小巧

◆ 具有更低的极限压强

◆ 无任何可能造成灾害性系统故障的机械部件

◆ 低噪声，低振动

3.HMDS烘箱辅助功能选择：

◆HMDS药液泄漏报警提示功能

◆HMDS低液位报警提示功能

◆工艺数据记录功能

◆药液管道预热功能

◆程序锁定保护等功能

HMDS烘箱也称为智能型HMDS真空系统通过对箱体内预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层 HMDS，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。

关键词：真空泵

上一篇：饲料颗粒包装秤/粮食颗粒包装秤/种子颗粒包装秤厂家|定制

下一篇：电子地磅怎么安装

版权与免责声明： 凡本网注明“来源：亚新ty官网”的所有作品，均为浙江兴旺宝明通网络有限公司-亚新ty官网合法拥有版权或有权使用的作品，未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用上述作品。已经本网授权使用作品的，应在授权范围内使用，并注明“来源：亚新ty官网www.guidetodreams.com”。违反上述声明者，本网将追究其相关法律责任。

本网转载并注明自其它来源（非亚新ty官网www.guidetodreams.com）的作品，目的在于传递更多信息，并不代表本网赞同其观点或和对其真实性负责，不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时，必须保留本网注明的作品第一来源，并自负版权等法律责任。

上海隽思实验仪器有限公司

进入展台在线留言