离子切割的加工原理与电子束加工基本类似，也是在真空条件下，将离子源产生的离子束经过加速后撞击在工件表面上，引起材料变形，破坏分离。由于离子带正电荷，其质量是电子的千万倍，因此离子束加工主要靠高速离子束的微观机械撞击动能，因此，离子束撞击工件将引起变形、分离、玻坏等机械作用，而不像电子束是通过热效应进行加工。