三离子切割仪可以灵活选择多种样品台，不仅适用于高通量实验，也适合于特定制样需求实验室。对地质样品中的油页岩、煤层、矿石、土壤和沉积物等多种类型，对这些样品进行制样处理的主要操作就是获得一个无损伤的平整面。机械切割和机械磨抛很难避免处理过程中造成样品的微观组织破坏和磨料污染现象。特别是在扫描电镜高放大倍数的形貌观察下，地质样品的微观结构破坏非常明显。三离子切割仪采用离子束轰击样品表层区域进行切割，是一种无机械应力破坏和无磨料污染的表面处理方式。经过离子束制备的样品，适合于扫描电镜进行高放大倍数的形貌观察。