干法灰化法指的是马弗炉高温使有机物灰化成无机物（灰化前需炭化），再用酸或水溶解的一种方法。干法灰化法能处理大量样品，无试剂污染，具有空白值低、灵敏度高等优点；缺点是该方法操作时间长、回收率低，会导致某些元素测定结果偏低，对于易挥发的以及会形成金属化合物的元素并不适用。

有些元素的测定不适用干法灰化法，比如铅和铝的测定。

一般该方法称取固体试样0.5～5g（精确至0.001g）或准确移取液体试样0.500～10.0mL于坩埚中，小火加热，炭化至无烟，转移至马弗炉中，于550℃灰化3～4h。冷却，取出，对于灰化不的试样，加数滴硝酸，小火加热，小心蒸干，再转入550℃马弗炉中，继续灰化1～2h，至试样呈白灰状，冷却，取出，用适量硝酸溶液（1+1）溶解并用水或1%硝酸溶液定容至25mL或50mL。同时做试剂空白试验。所有空白样品都用超纯水按照上述步骤进行前处理。