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充氮真空无氧烘箱的原理

来源:上海隽思实验仪器有限公司   2025年08月21日 10:24   32

1.充氮真空无氧烘箱的原理,其原理通过外接氮气置换装置,使箱体内达到无氧真空状态,提供无氧洁净的固化环境。

2.充氮真空烘箱热量利用的比较充分,专为干燥热敏性、易分解等物质而设计,能够向内部充入惰性气体,特别是一些成分复杂的物品也能进行快速干燥;使用容积比较大,微电脑温度控制器,控温比较准确;

3.真空充氮烘箱是一种利用真空厌氧固化的设备,它可以在无氧的环境下对一些特殊的胶水进行快速固化,适用于半导体芯片、电子元器件、等领域。

4.充氮真空无氧烘箱的热处理,通过真空抽出空气及杂质气体,真空度根据不同的工艺要求,需要达到100pa,甚至50pa以内,然后通过充入高纯洁净氮气数次循环后达到无氧环境,20或者10ppm以下,再根据预先设置的recipe升温,真空+氮气补偿,恒温,降温等工艺过程。

5.充氮真空烘箱的优势和特点是在负压工作状态下,在氧含量少的情况下可以杜绝氧化反应行抽离真空再充氮气加热,这样可以减少氧化,再负压状态下产品固化效率也不相同,产品质量更加优质。


      充氮真空无氧烘箱也称为真空无氧烤箱、厌氧炉、真空固化炉等,用于半导体/第三代半导体/新材料/新能源等行业。BCB、PI、CPI、PBO胶固化,LCP新材料、锂电池等产品热处理。


关键词:电子元器件
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