坚膜烘箱，氮气坚膜烘箱的用途

       坚膜烘箱的作用是在一定的温度下,对显影后的衬底进行烘焙。 其的主要作用是除去光刻胶中剩余的溶剂,增强光刻胶对硅片表面的附着力,同时提高光刻胶在刻蚀和离子注人过程中的抗蚀性和保护能力。这将使光刻胶的表面在表面张力的作用下而圆滑化,并使光刻胶层中的缺陷因光刻胶表面的圆滑化而减少,并可借此修正光刻胶图形的边缘轮廓。

坚膜烘箱，氮气坚膜烘箱技术性能：

       通过坚膜,光刻胶的附着力会得到提高,这是由于除掉了光刻胶中的溶剂,同时也是热融效应作用的结果,因为热融效应可以使光刻胶与硅片之间的接触面积达到。较高的坚膜温度可使坚膜后光刻胶中的溶剂含量更少,但增加了去胶时的困难。     

温度范围：RT～250℃；
均匀度：±2%℃;    

温度波动度：±0.5℃（空载）        
温控精度：±0.1℃;   

洁净度：Class100; 

计时范围：99H99M；   

气体氛围：N2；

内部尺寸（mm）：

450×450×450

500×500×550

600×700×800（可定制）